特許
J-GLOBAL ID：200903088110239890
ガス連続分光分析用マイクロ波空洞共振器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-527266
公開番号（公開出願番号）：特表平11-505026
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】低Q共振器の開発により、すべての面で顕著な進歩を示し、なかんずく過酷な環境の中でも高信頼性で動作するガス測定システムが使用可能となった。共振器の長さは従来の測定セルに比して大幅に短縮された。これによりハウジング寸法も小型化された。短いガス交換時間と小さいガスハウジング寸法とにより応答時間が大幅に短縮され、例えばアンモニアに対する検出感度が短い測定セルにもかかわらず非常に高い。
請求項（抜粋）：
プロセス媒体流の中のある特定成分の濃度検出用のガス連続分光分析用マイクロ波空洞共振器において、 共振器(1)が、マイクロ波リフレクタ(4,5)により制限されている空洞円筒体であり、前記空洞円筒体は円形空洞導波管部分(2)と同軸導波管部分(3)とから成り、前記円筒形空洞導波管部分(2)と前記同軸導波管部分(3)とを互いにガス密かつ圧力密の誘電ウィンドウ(7)を介して分離し、前記同軸導波管部分(3)の軸線方向にスライド可能な内部導体(6)をStark変調を適用するための電極として用い、マイクロ波リフレクタ(5)の中で貫通案内して保持し、 2つの空洞導波管(11)すなわち共振器(1)の中へのマイクロ波入力結合のための一方の空洞導波管(11)と前記共振器(1)からのマイクロ波出力結合のための前記空洞導波管(11)とを、前記共振器(1)の軸線に対称に前記共振器に前記円形空洞導波管部分(2)の領域内でフランジ接続し、 前記マイクロ波リフレクタ(4,5)のうちの一方を固定配置し、他方を、予定の最大吸収周波数とマイクロ波の最適な入力結合及び出力結合への調整への同調のために軸線方向にスライド可能にし、 前記プロセス媒体流から連続的に、分岐されている部分がガス状で貫流するバイパス導管(21)が、直接的に前記同軸導波管部分(3)の側を前記誘電ウィンドウ(7)の領域内で通過し、その場所で共振器壁の中の絞りすなわち制限装置(9)を介して前記同軸導波管部分(3)への短い長さの分岐を有し、これにより連続的で小さい体積での試料導入が可能となり、前記導入試料を連続的に、所与の圧力勾配を維持してその場所の前記マイクロ波リフレクタ(5)の中の少なくとも1つの開口を介してポンピングして吸込むことが可能であり、 前記共振器(1)のQが1000〜2000の間の値をとることを特徴とするガス連続分光分析用マイクロ波空洞共振器。
FI (2件)：
G01N 22/00 J
, G01N 22/00 X
