基板の供給取出治具、供給取出装置および供給取出方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：迎田昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-198294
公開番号（公開出願番号）：特開2004-040011
出願日： 2002年07月08日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】基板表面を疵付けることなく、また研磨剤や研磨屑が基板面に固着することなく、真空吸引により基板を研磨パッド上に供給したり取出すことが可能な基板の供給取出治具、供給取出装置および供給取出方法を提供する。【解決手段】基板よりも軟質で含水可能な材料からなる吸着パッド3を備える磁気ディスク基板1の供給取出治具を、吸着パッド3が含水した状態で基板に当接し、吸着面付近に設けた真空吸引部を減圧し、吸着パッドを基板との間に水膜33を介して基板を真空吸着することにより、基板を表面加工装置へ供給したり表面加工装置から取出したりする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板よりも軟質で含水可能な材料からなる吸着パッドと、吸着パッドを固着して支持する基体と、基体および吸着パッドの吸着面付近に設けた真空吸引部を備えてなることを特徴とする基板の供給取出治具。

IPC (6件)：

H01L21/68 , B24B37/04 , B24B41/06 , B65G49/07 , F16B47/00 , H01L21/304

FI (6件)：

H01L21/68 B , B24B37/04 Z , B24B41/06 A , B65G49/07 G , F16B47/00 S , H01L21/304 622H

Fターム (28件)：

3C034BB73 , 3C034BB84 , 3C058AA07 , 3C058AB03 , 3C058CB02 , 3C058DA17 , 3J038AA02 , 3J038CA09 , 3J038CB05 , 5D112AA02 , 5D112GA09 , 5D112KK04 , 5F031CA01 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA09 , 5F031FA12 , 5F031GA24 , 5F031GA26 , 5F031GA32 , 5F031GA33 , 5F031HA12 , 5F031HA42 , 5F031HA48 , 5F031MA22 , 5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-206946
特開昭58-022657
特開平4-206946

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