特許
J-GLOBAL ID：200903088114434809

液体吐出装置及びその製造方法

発明者：
榎本 勝己

榎本 勝己 について

, 
前田 泰彦

前田 泰彦 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-210935
公開番号（公開出願番号）：特開2008-036870
出願日： 2006年08月02日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】 高密度実装に際して低コストで電気的な信頼性を高くすること。 【解決手段】 圧電素子24の活性部58の周囲の隔壁を構成している隔壁層25上に天板26を配置し、この天板26には、共通液室55から圧力室52への液体供給用の貫通孔261と、天板26の上面から圧電素子24の上部電極57への配線接続用の貫通孔262と、配線接続用の貫通孔262に導電性材料が充填されてなり圧電素子24の上部電極57に接続している充填接続部31と、充填接続部31に連結している上部接続電極32とが形成されている。圧電素子24の活性部58は、行方向及び列方向に2次元的に複数配列され、圧電素子24の下部電極56は、行方向の複数の活性部58で共通に形成され、上部接続電極32は、列方向の複数の活性部58で共通に設けられている。また、天板26の充填接続部31と上部接続電極32とが同一の導電性材料で一体に形成されている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
液体吐出口に連通する圧力室が形成されている圧力室板と、 前記圧力室板上に配置されている振動板と、 前記振動板上に配置され、下部電極、圧電材料からなる活性部、および、上部電極が順に積層されてなる圧電素子と、 前記振動板上に配置され、前記圧電素子の前記活性部の周囲の隔壁を構成している隔壁層と、 前記隔壁層上に配置されている天板と、 前記天板上に配置され、前記圧力室へ液体を供給する共通液室と、 を備え、 前記天板には、前記共通液室から前記圧力室への液体供給用の貫通孔と、前記天板の上面から前記圧電素子の前記上部電極への配線接続用の貫通孔と、前記配線接続用の貫通孔に導電性材料が充填されてなり前記圧電素子の前記上部電極に接続している充填接続部と、前記充填接続部に連結し前記充填接続部を介して前記圧電素子の前記上部電極に接続している当該天板上面の上部接続電極と、が形成され、 前記圧電素子の前記活性部は、行方向及び列方向に2次元的に複数配列されており、 前記圧電素子の前記下部電極は、2次元的に配列された複数の前記圧電素子の前記活性部のうちで行方向の複数の前記活性部で共通に形成されており、 前記上部接続電極は、2次元的に配列された複数の前記圧電素子の前記活性部のうちで列方向の複数の前記活性部で共通に設けられており、 前記天板の前記充填接続部と該充填接続部に連結している前記上部接続電極とが、同一の導電性材料で一体に形成されていることを特徴とする液体吐出装置。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
Fターム (17件)：
2C057AF35 ,  2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG42 ,  2C057AG84 ,  2C057AG85 ,  2C057AG90 ,  2C057AG91 ,  2C057AG99 ,  2C057AK01 ,  2C057AL25 ,  2C057AN05 ,  2C057AP02 ,  2C057AP52 ,  2C057AP55 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (2件)

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