特許
J-GLOBAL ID：200903088119580820
ガラス母材の製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 祐介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269662
公開番号（公開出願番号）：特開平6-092649
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 バーナを移動させながらチャンバ内でスート堆積を行なう場合に、バーナ位置によらずつねに最適の排気流量を保ち、チャンバ内の空気の流れを安定化してスートを均一に堆積する。【構成】 チャンバ11内で、回転するターゲット棒12の周囲に、トラバースさせられるバーナ21からのガラス微粒子を堆積させてスート13を形成する。チャンバ11に多数の排気口31をバーナ21のトラバース方向に沿ってアレイ状に配列し、その各々において実際の排気流量を測定する。バーナ21の位置をロータリーエンコーダ26で検出する。コンピュータ41には、あらかじめ求めておいたバーナ位置に対する最適排気パターンデータが保持されており、コンピュータ41はこのデータに基づき、バーナ位置及び各排気口31で測定した流量に応じて、排気口31のそれぞれの排気流量を制御する。
請求項（抜粋）：
ガラス微粒子を生成するバーナと、該バーナを移動させるトラバース装置と、該バーナの炎及びガラス微粒子堆積体を覆うチャンバと、このチャンバにおいて上記のトラバース方向に沿って配列するよう設けられたアレイ状の多数の排気口と、該多数の排気口の各々に設けられた排気流量センサ及び排気流量調整装置と、上記バーナの位置を検出する位置検出器と、検出されたバーナ位置及び測定された各排気口での排気流量とに応じて、上記各排気口の排気流量調整装置を制御する制御装置とを備えることを特徴とするガラス母材の製造装置。
IPC (4件)：
C03B 8/04
, C03B 37/018
, C03B 37/07
, G02B 6/00 356
