一体的な光共振器、光スキャナエンジンおよびそれにおける使用に適した走査光線を発生するための方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-121287
公開番号（公開出願番号）：特開平10-325935
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】光スキャナエンジンおよび走査システムにおける使用に適した一体化されたマイクロ電気機械(MEM)光共振器および方法を提供する。【解決手段】一体化された光共振器は、基板(14)と、基板(14)の一方端に取付けられた片持ち梁(10)と、片持ち梁(10)に取付けられ第1の電気励振に応答する第1のバイモルフアクチュエータとを含み、梁(10)の少なくとも一部分は反射表面を有し、アクチュエータは第1の励振に従って梁(10)を移動させる。

請求項（抜粋）：

一体的な光共振器であって、基板と、前記基板に一方端が取付けられた片持ち梁とを含み、前記梁の少なくとも一部分は反射表面を有し、さらに前記片持ち梁に取付けられ、第1の電気励振に応答する第1のバイモルフアクチュエータを含み、前記アクチュエータは前記第1の励振に従って前記梁を移動させる、共振器。

IPC (4件)：

G02B 26/10 101 , H01L 21/308 , H01L 41/09 , H01L 41/18

FI (4件)：

G02B 26/10 101 , H01L 21/308 B , H01L 41/08 M , H01L 41/18 101 Z

引用特許：

審査官引用 (13件)

レーザビーム走査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-307220 出願人：ザウィタカーコーポレーション
圧電駆動マイクロスキャナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-004526 出願人：松下電器産業株式会社
特開平4-342221

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