特許
J-GLOBAL ID：200903088128822380
アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-266121
公開番号（公開出願番号）：特開平11-112047
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 顕微鏡内部の外から見えにくい部分において、プローブと試料との間隔を微小制御しながら位置合わせすることは非常に困難である。そこで、広域に渡って移動させられ、かつ、微小に制御が可能なアクチュエータを提供する。【解決手段】 複数の圧電素子で構成された運動部1と、圧電素子を伸縮させるための特定電圧を出力する駆動部2と、特定電圧の出力を制御する制御手段3とを備え、制御手段の制御によって複数の圧電素子に特定電圧を加え、複数の圧電素子を伸縮させ、反復することで壁面を上下に移動させるようにした構成としている。
請求項（抜粋）：
向かい合う壁面に移動可能に、内接された複数の圧電素子で構成された運動部と、上記圧電素子を伸縮させるための特定電圧を出力する駆動部と、上記駆動部に対して、特定電圧の出力を制御する制御手段とを備え、上記制御手段の制御により、上記駆動部から上記圧電素子に特定電圧を供給し、上記運動部が伸縮を反復して、上記壁面を上下に微動できることを特徴とするアクチュエータ。
IPC (5件)：
H01L 41/09
, F03G 7/00
, H02N 2/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
H01L 41/08 C
, F03G 7/00 H
, H02N 2/00 B
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
