特許
J-GLOBAL ID：200903088131458495
バルブ付半導体圧力センサモジュール及びそれを用いた圧力制御装置並びにその圧力制御装置を用いた標準圧力発生装置並びに血圧計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-171665
公開番号（公開出願番号）：特開平9-330132
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 小型で、組立が容易で、信頼性が高いバルブ付半導体圧力センサモジュールを提供すること【解決手段】 基板10上面に、半導体圧力センサ11と、半導体バルブ12を実装し、両者を覆うようにして、基板上面にケース13を装着する。ケース内には、導圧管13aを介して測定ガスが供給可能となり、ケース内部が圧力室20を構成する。半導体バルブは、加圧液18を加熱させ熱膨張させることによりダイアフラム15aを湾曲させ、弁体15bが貫通孔17aを開閉することにより、バルブが開閉制御され、圧力室内のガスをリーク可能とする。圧力室内に半導体バルブが設置されたため、それらを覆うケースは1つでよく、また、両者11,12を接続する配管も不要となるので、小型化が図れる。配管がないので、接続部分での漏れもなく、信頼性が向上する。
請求項（抜粋）：
半導体圧力センサを収納した圧力室内に、半導体バルブも収納し、前記半導体バルブを介して前記圧力室内の流体を、外部に放出可能としたことを特徴とするバルブ付半導体圧力センサモジュール。
IPC (9件)：
G05D 16/20
, A61B 5/02
, F16K 1/52
, F16K 7/12
, F16K 31/68
, F16K 37/00
, G01L 7/08
, G01L 9/08
, H01L 23/00
G05D 16/20 A
, F16K 1/52 A
, F16K 7/12 B
, F16K 31/68 Z
, F16K 37/00 J
, G01L 7/08
, G01L 9/08
, H01L 23/00
, A61B 5/02
