特許
J-GLOBAL ID：200903088132100780
化学蒸着によってプレストレストダイヤモンド複合薄膜を製造する方法とそれによって製造された物品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
生沼 徳二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343065
公開番号（公開出願番号）：特開平5-306196
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 補強用部材を内部に含むプレストレストダイヤモンド複合物品の製造方法を開示する。【構成】 典型的な化学蒸着温度に保たれた補強用部材を収容している通常のCVDチャンバ中に、メタンのような炭素化合物と水素との混合物を導入する。補強用部材はフィラメントの列の間の中央に配置し、ダイヤモンドの熱膨脹係数以上の熱膨脹係数を有する補強用部材上にダイヤモンド層をほぼ対称的に蒸着させる。補強用部材上でダイヤモンド層が所望の厚さに達した後、ダイヤモンド複合物品の冷却中に、補強用部材はダイヤモンド層以上に収縮する。その結果、ダイヤモンド層には、補強用部材の熱収縮により得られた圧縮応力によってプレストレスがかかる。さらに、補強用部材はダイヤモンド物品内部の中央に位置しているので、常法によって製造されたダイヤモンド物品中に通常存在する曲げモーメントがない。
請求項（抜粋）：
補強用部材を内部に含むプレストレスト複合ダイヤモンド物品を化学蒸着によって製造するための方法であって、ダイヤモンドの熱膨脹係数以上の熱膨脹係数を有しそして所望の化学蒸着温度に維持された前記補強用部材上にダイヤモンドを実質的に対称的に化学蒸着させ、化学蒸着したダイヤモンド層をその上に有する前記補強用部材を冷却することによって収縮させ、前記ダイヤモンド層の熱収縮より大きい前記補強用部材の熱収縮により前記ダイヤモンド層内に均衡した圧縮応力を誘起させて前記プレストレストダイヤモンド物品を製造することからなる方法。
IPC (3件)：
C30B 29/04
, C23C 16/26
, H01L 21/205
