特許

J-GLOBAL ID：200903088137331136

エキシマレーザビームの強度分布計測方法

発明者： 石出 孝 ,  白田 春雄 ,  松本 長
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295580
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147975
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 エキシマレーザビームの強度分布をオンラインで計測することを目的とする。【構成】 エキシマレーザビームより合成石英板3にて微少出力光を取り出して希土類元素を添加した蛍光板4に照射して発光させ、この発光をCCDカメラ5にて撮影して画像処理したものである。

請求項（抜粋）：

エキシマレーザのビームをアテネータにて分岐して微少出力光を得てこの微少出力光を希土類元素を添加したガラス板に照射し、このガラス板に生ずる可視光の蛍光をCCDカメラにて撮影し、撮影画像を画像処理することにより蛍光強度を計測するようにしたエキシマレーザビームの強度分布計測方法。