特許
J-GLOBAL ID:200903088154255419
蛍光検出型モット検出器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-010807
公開番号(公開出願番号):特開平11-211838
出願日: 1998年01月22日
公開日(公表日): 1999年08月06日
要約:
【要約】【課題】 検出感度を落とすことなく、小型化を図り得る高エネルギー型の蛍光検出型モット検出器を提供する。【解決手段】 被測定電子を所定のエネルギーまで加速する加速電極3と、加速された電子e1 を照射してモット散乱を引き起こす金薄膜4と、モット散乱した電子e2 を蛍光に変換する蛍光物質〔CsI(Tl)〕5と、変換された蛍光を高電圧・真空内10部からグランド電圧・真空外部20へ導くためのフランジ付きガラス棒6と、取り出した蛍光を検出する光電子増倍管21とを設ける。
請求項(抜粋):
(a)被測定電子を所定のエネルギーまで加速する電極と、(b)加速された電子を照射してモット散乱を引き起こす手段と、(c)モット散乱した電子を蛍光に変換する蛍光物質と、(d)変換された蛍光を高電圧・真空部内からグランド電圧・真空外部へ導くための導出手段と、(e)取り出した蛍光を検出する光電子増倍管とを具備することを特徴とする蛍光検出型モット検出器。
引用特許:
審査官引用 (26件)
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特開平1-217288
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特開平4-361144
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電子検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-092388
出願人:浜松ホトニクス株式会社
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反射電子検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-335292
出願人:株式会社トプコン
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2次電子検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-027992
出願人:日本電子株式会社
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集束イオンビーム装置及び荷電粒子検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-290229
出願人:株式会社日立製作所
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スピン検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-029098
出願人:株式会社日立製作所
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スピン検出器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-055421
出願人:株式会社日立製作所
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電子スピン偏極度の計測方法及びその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-179530
出願人:科学技術振興事業団
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特開昭59-187281
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特開昭63-094549
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特開昭62-082638
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特開昭62-073185
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特開昭53-037375
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特開昭54-068148
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特開昭61-283890
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電子顕微鏡の影像検出器の解像度を改良しノイズを低減する方法及び装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平11-503282
出願人:ガタン・インコーポレーテッド
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特開平1-217288
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特開平4-361144
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特開昭59-187281
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特開昭63-094549
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特開昭62-082638
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特開昭62-073185
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特開昭53-037375
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特開昭54-068148
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特開昭61-283890
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