特許

J-GLOBAL ID：200903088154960333

変位測定装置

発明者： 西川 幸男 ,  山田 義行
出願人/特許権者： 株式会社大日本科研
代理人 (1件)： 大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102799
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281721
出願日： 1997年04月03日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】 被測定物の変位を被測定物全域に亘り高速に測定することのできる変位測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 変位測定装置は、バンプ2が形成されたパッケージ3を支持して移動する支持テーブル11と、レーザビームを照射する半導体レーザ12と、コリメータレンズ13と、ガルバノミラー14と、対物レンズ15と、一対の反射ミラー16、17と、結像レンズ18と、一次元のPSD19とを備える。対物レンズ15およびミラー17を介してバンプ2に照射された入射光ビームB1は、バンプ2の表面で反射して反射光ビームB2となり、ミラー16および対物レンズ15を介してガルバノミラー14に入射する。

請求項（抜粋）：

被測定物表面の変位を測定する変位測定装置において、光ビームを照射する光照射手段と、前記光照射手段により照射された光ビームを偏向する偏向手段と、前記偏向手段とその焦点距離だけ離隔して配置され、前記偏向手段により偏向された光ビームを入射される対物レンズと、前記対物レンズに対し前記偏向手段の逆側の位置において、前記被測定物を支持する支持手段と、前記光照射手段により照射され前記偏向手段および前記対物レンズを介して前記被測定物に照射される入射光ビームと、前記被測定物の表面で反射される反射光ビームとの間に所定の角度を形成した状態で、前記反射光ビームを前記対物レンズに入射させるため、前記対物レンズと前記被測定物との間に配設された反射鏡と、前記被測定物の表面で反射され前記対物レンズを通過して前記偏向手段により偏向された後の反射光ビームの位置を検出する光ビーム位置検出手段と、前記支持手段を前記対物レンズに対して相対的に一方向に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする変位測定装置。