特許

J-GLOBAL ID：200903088161898597

磁気エンコ-ダ及び磁気センサ

発明者： 小川 次夫
出願人/特許権者： 日立金属株式会社 ,  日立金属機工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-013988
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214241
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 微少かつ離れた磁界であっても効率的かつ検知精度が高い磁気エンコーダを、またノイズ磁界に対しても誤作動を起こさないようにした磁気センサを提供することを目的とする。【解決手段】 着磁方向を前記相対移動方向に対し垂直な方向に交互に逆極性に着磁させた着磁スケール2と、非磁性基板上33に前記着磁ピッチPの整数倍の間隔で平行に並ぶ複数本の磁気検知部31と、この磁気検知部31を順次折り返すように連結する複数本の磁気連結部32とからなるつづら折りパターンに形成された磁性膜30を有する磁気センサ3とからなり、着磁スケール2と磁気センサ3を相対移動可能に対向させて、磁性膜の両端部から高周波電流を印加したとき、着磁スケール2からの磁束により前記磁気検知部31がそれぞれ着磁スケール2からの磁束をとらえ、よって発生するインピーダンスの変化を電気信号に変換して出力を得るようにした磁気エンコーダ1である。

請求項（抜粋）：

所定の着磁ピッチで交互に逆極性に着磁された着磁スケールと、この着磁スケールに対し相対的に移動して前記着磁スケールの磁界を磁気インピーダンス効果により検出する磁気センサと、からなる磁気エンコーダであって、前記着磁スケールは、その着磁方向を前記相対移動方向に対し垂直な方向に交互に逆極性に着磁し、前記磁気センサは、非磁性基板上に前記着磁ピッチの整数倍の間隔で並ぶ複数本の磁気検知部と、この磁気検知部を順次折り返すようにした複数本の磁気連結部とからなるつづら折りパターンに形成された磁性膜を有し、前記着磁スケールと前記磁気センサを相対移動可能に対向させ、前記磁性膜に対し両端部から高周波電流を印加し、着磁スケールからの磁束により前記磁気検知部を介して磁性膜の両端部間に発生するインピーダンスの変化を電気信号に変換して出力を得ることを特徴とする磁気エンコーダ。

IPC (2件)：

G01R 33/02 ,  G01D 5/245

FI (3件)：

G01R 33/02 D ,  G01D 5/245 B ,  G01D 5/245 Y

Fターム (15件)：

2F077AA21 ,  2F077NN05 ,  2F077NN26 ,  2F077PP11 ,  2F077QQ03 ,  2F077TT06 ,  2F077TT35 ,  2F077UU25 ,  2F077VV11 ,  2G017AA01 ,  2G017AB01 ,  2G017AD51 ,  2G017AD54 ,  2G017AD63 ,  2G017AD65