液体吐出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-319378
公開番号（公開出願番号）：特開平9-160256
出願日： 1995年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】液体非吐出時における吐出ノズル先端からの液だれを防止する。【解決手段】液体供給ポンプより液体8が供給されるパイプ6に略逆J字形状の吐出ノズル4の基端部が連通され、この吐出ノズル4のノズル先端部4aが液体非吐出時における吐出ノズル4内などにおける液面8aよりも高い位置に配置されている。このため、液体の吐出停止時にノズル先端部4aよりも下に存在する液体8がサイフォン現象によってノズル先端部4aから吐出されることはない。従って、液体の吐出停止時に液だれが発生することが確実に防止される。

請求項（抜粋）：

対象物に所定量の液体を吐出する装置において、所定圧力で前記液体を供給する液体供給源と、前記液体供給源に基端部が連通され、先端部が前記対象物に向かって開口した略逆J字形状の吐出ノズルと、を有し、前記吐出ノズルの先端部は、前記吐出ノズル内または前記液体供給源内の液体非吐出時における前記液体の液面よりも上方に配置されていることを特徴とする液体吐出装置。

IPC (4件)：

G03F 7/30 501 , B05C 5/00 , G03F 7/40 521 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/30 501 , B05C 5/00 Z , G03F 7/40 521 , H01L 21/30 564 Z , H01L 21/30 569 A

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