特許

J-GLOBAL ID：200903088170591186

可変容量コンデンサ

発明者： 竹内 雅樹 ,  吉野 幸夫
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-320832
公開番号（公開出願番号）：特開平10-149951
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】 静電容量の高精度な可変制御が可能な可変容量コンデンサを提供する。【解決手段】 基板1に脚部2a,2bを互いに間隙を介して形成し、各脚部2a,2bからそれぞれ梁部4a,4bを伸長形成し共通の可動片5に連接する。梁部4a,4bと可動片5は基板1と空隙10を介して対向配設し、梁部4a,4bと可動片5の基板対向面に基準電極8を形成する。基板1に各梁部4a,4bに対向する駆動電極6a,6bと、可動片5に対向する検出電極7とを設ける。梁部4a,4bは基端側から可動片5に向かうに従って梁の幅Dが狭くなっている。梁部4a,4bを基板1側に撓み変形させることにより可動片5部分の基準電極8と検出電極7間の間隔が可変し、可動片5部分の基準電極8と検出電極7間の静電容量の可変制御を精度良く行うことができる。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板に固定形成され互いに間隙を介して配設される複数の脚部と、これら各脚部から伸長形成され前記基板と間隙を介して対向配設される梁部と、これら各梁部の先端側に共通に連接され前記基板と間隙を介して対向配設される可動片と、この可動片の基板対向面と前記梁部の基板対向面に形成される可動電極と、前記基板に形成され前記可動電極と間隙を介して対向配設される固定電極とを有し、前記梁部は基端側よりも先端側の梁の幅が狭く形成されている構成としたことを特徴とする可変容量コンデンサ。