特許
J-GLOBAL ID：200903088175941630
弁装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-141680
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329254
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置等における真空容器と排気系との接続部に使用される弁装置であって、プロセス過程で反応した生成物の弁装置内部への付着を効果的に防止し得る弁装置を提供する。【解決手段】 弁箱内の一側に備えられている弁座と、該弁座に対向し、弁開閉用のシャフトに支持されて該弁座に離接自在に配置されている弁体と、該シャフトを囲繞し、一端の周縁が前記弁体、他端の周縁が前記弁座に対向して配置されている弁箱の端板にそれぞれ固定されているベローズとで構成され、該ベローズの外部及び内部にそれぞれヒータが設置されている弁装置において、前記ベローズの外部に設置されているヒータは、前記ベローズを囲繞し、一端の周縁が前記端板に取り付けられ、他端が前記弁座方向に向けて開口している筒状ヒータであって、弁の開動作時に当該筒状ヒータの開口が前記弁体にて封鎖されることを特徴とした弁装置により、前記課題を解決した。
請求項（抜粋）：
弁箱内の一側に備えられている弁座と、該弁座に対向し、弁開閉用のシャフトに支持されて該弁座に離接自在に配置されている弁体と、該弁開閉用のシャフトを囲繞し、一端の周縁が前記弁体、他端の周縁が前記弁座に対向して配置されている弁箱の端板にそれぞれ固定されているベローズまたは可撓性部材からなる隔壁とで構成され、該ベローズまたは可撓性部材からなる隔壁の外部及び内部にそれぞれヒータが設置されている弁装置において、前記ベローズまたは可撓性部材からなる隔壁の外部に設置されているヒータは、前記ベローズまたは可撓性部材からなる隔壁を囲繞し、一端の周縁が前記端板に取り付けられ、他端が前記弁座方向に向けて開口している筒状ヒータであって、弁の開動作時に当該筒状ヒータの開口が前記弁体にて封鎖されることを特徴とした弁装置。
Fターム (2件)：
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