特許

J-GLOBAL ID：200903088182122866

保護層を有するマイクロエレクトロニクスシステム

発明者： フォグトマイヤー,ゲレオン ,  ステッドマン,ロガー ,  ツァイトラー,ギュンター ,  エンゲル,クラオス ユルゲン ,  ヴィーチョレク,ヘルフリート
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (3件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-526678
公開番号（公開出願番号）：特表2008-510960
出願日： 2005年08月11日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：

本発明は、感光性の構成要素及び付随する電子回路(4)からなる画素(P)のアレイを有する半導体層(1)を有する、特にX線検出器用の、マイクロエレクトロニクスシステムに関する。表面に凹部(5a)を有する絶縁性の保護層(5)が、半導体層(1)とシンチレータ(8)との間に設けられている。X線放射から電子回路(4)を保護する遮蔽金属(6)が、保護層(5)の凹部(5a)中に設けられて良い。さらに、凹部は、シンチレータ(8)を固定するための接着剤を含んで良い。このとき保護層(5)は付加的に、シンチレータ(8)と半導体層(1)との間のスペーサとして機能する。

請求項（抜粋）：

電子部品を有する半導体層; 前記半導体層上に設けられた、表面に凹部を有する保護層;及び、 前記保護層の前記凹部内に設けられる少なくとも1種類の特殊材料; を有するマイクロエレクトロニクスシステム。

IPC (5件)：

G01T 1/20 ,  G01T 1/24 ,  H04N 5/32 ,  H01L 31/10 ,  H01L 27/14

FI (6件)：

G01T1/20 E ,  G01T1/24 ,  H04N5/32 ,  H01L31/10 A ,  H01L27/14 K ,  H01L27/14 D

Fターム (30件)：

2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG17 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ29 ,  4M118AA08 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118CA02 ,  4M118CA09 ,  4M118CB11 ,  4M118GA10 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  5C024AX11 ,  5C024CY47 ,  5C024EX24 ,  5C024GX02 ,  5C024GX07 ,  5F049MA01 ,  5F049MA11 ,  5F049NA04 ,  5F049NA07 ,  5F049NB10 ,  5F049QA20 ,  5F049RA02 ,  5F049SZ20 ,  5F049WA07

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 国際公開00/25149号パンフレット
  
• 欧州特許出願公開第1217387号明細書
  
• 米国特許第4828886号明細書
  
• 米国特許第6531191号明細書