特許

J-GLOBAL ID：200903088182454184

透明導電膜形成用材料とその製造方法、透明導電膜、タッチパネルとその製造方法、プラズマディスプレイとその製造方法、太陽電池とその製造方法、導電性フィルムとその製造方法、熱線反射ガラスとその製造方法、液晶表示装置とその製造方法、無機エレクトロルミネッセンス素子とその製造方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子とその製造方法

発明者： 地主 啓一郎
出願人/特許権者： 株式会社フルヤ金属
代理人 (1件)： 柳瀬 睦肇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-293502
公開番号（公開出願番号）：特開2002-260447
出願日： 2001年09月26日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【課題】 製品における高効率化、低コスト化を図ることが可能な透明導電膜、透明導電膜形成用材料及びその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明に係る透明導電膜は、酸化インジウムを主成分とし、酸化ゲルマニウムを0.1重量パーセント以上5.0重量パーセント以下含有し、更に、酸化珪素を0.1重量パーセント以上5.0重量パーセント以下含有する材料からなる透明導電膜であって、前記材料からスパッタリングターゲットを作製し、このスパッタリングターゲットを用いてスパッタリング法により薄膜を形成して得られる。

請求項（抜粋）：

酸化インジウムを主成分とし、酸化ゲルマニウムを0.1重量パーセント以上5.0重量パーセント以下含有し、更に、酸化珪素を0.1重量パーセント以上5.0重量パーセント以下含有することを特徴とする透明導電膜形成用材料。

IPC (11件)：

H01B 5/14 ,  C03C 17/245 ,  C04B 35/495 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/34 ,  G09F 9/30 337 ,  H01H 1/02 ,  H01H 11/00 ,  H01L 31/04 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/28

FI (11件)：

H01B 5/14 A ,  C03C 17/245 A ,  C23C 14/24 E ,  C23C 14/34 A ,  G09F 9/30 337 ,  H01H 1/02 Z ,  H01H 11/00 G ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/28 ,  C04B 35/00 J ,  H01L 31/04 M

Fターム (58件)：

3K007AB18 ,  3K007CB01 ,  3K007EB00 ,  3K007EC00 ,  3K007FA01 ,  4G030AA34 ,  4G030AA37 ,  4G030AA38 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030BA16 ,  4G030GA14 ,  4G030GA22 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4G059AA01 ,  4G059AA08 ,  4G059AC06 ,  4G059AC12 ,  4G059EA01 ,  4G059EA03 ,  4G059EA05 ,  4G059EB04 ,  4K029BA45 ,  4K029BC07 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5C094AA44 ,  5C094BA27 ,  5C094BA31 ,  5C094BA43 ,  5C094EA05 ,  5F051AA05 ,  5F051FA02 ,  5F051FA06 ,  5F051GA03 ,  5F051HA01 ,  5G023AA01 ,  5G023CA19 ,  5G050AA16 ,  5G050AA19 ,  5G050AA43 ,  5G050BA12 ,  5G050CA05 ,  5G050CA13 ,  5G050CA16 ,  5G050DA10 ,  5G050EA09 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09