特許

J-GLOBAL ID：200903088187502411

エッチング装置及びエッチング方法

発明者： 唐橋 一浩
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-030550
公開番号（公開出願番号）：特開平7-240396
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】【目的】指向性を有するハロゲン原子線を用いたエッチング装置に関し、被エッチング体に損傷を与えずに異方性エッチングを行う。【構成】減圧可能なチャンバ11と、チャンバ11内に設置された、被エッチング体21を保持する基板保持具20と、活性化されたハロゲン原子を放出する手段12と、放出されたハロゲン原子を被エッチング体21上に導く手段15と、被エッチング体21上にハロゲン原子と反応する反応ガスを放出する手段18とを有する。

請求項（抜粋）：

減圧可能なチャンバと、前記チャンバ内に設置された、被エッチング体を保持する基板保持具と、活性化された原子を放出する手段と、放出された前記原子を前記被エッチング体上に導く手段と、前記被エッチング体上に前記原子と反応する反応ガスを放出する手段とを有するエッチング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/306 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/302

FI (2件)：

H01L 21/302 P ,  H01L 21/302 Z