特許
J-GLOBAL ID：200903088196256245
固体撮像素子とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-307520
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132508
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 撮像領域の受光部以外を遮光する遮光膜を成すアルミニウム膜9と、周辺回路の配線膜を成すアルミニウム膜10を有する固体撮像素子において、遮光膜を成すアルミニウム膜9にスミアやオプチカルブラック偽信号の原因となるシリコンノジュールが発生することを防止すると共に周辺回路の配線膜を成すアルミニウム膜10にトランジスタの特性劣化原因となるアルミニウムスパイクが発生するのを防止する。【構成】 遮光膜を成すアルミニウム膜9をシリコンノジュールの発生を抑制するアルミニウム材料(例えば1wt%含有Si含有)で形成し、上記配線膜を成すアルミニウム膜10をアルミニウムスパイクの発生を抑制するアルミニウム材料(例えば0〜0.5wt%含有Si含有)で形成する。
請求項（抜粋）：
撮像領域の受光部以外を遮光する遮光膜を成すアルミニウム膜と、周辺回路の配線膜を成すアルミニウム膜を有する固体撮像素子において、上記遮光膜を成すアルミニウム膜をシリコンノジュールの発生を抑制するアルミニウム材料で形成し、上記配線膜を成すアルミニウム膜をアルミニウムスパイクの発生を抑制するアルミニウム材料で形成してなることを特徴とする固体撮像素子
IPC (3件)：
H01L 27/14
, H01L 21/28 301
, H04N 5/335
