特許

J-GLOBAL ID：200903088197594608

チタン化合物薄膜形成用前駆体溶液及びチタン化合物薄膜の形成方法

発明者： 阿部 利彦 ,  八島 芳信
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  日本素材株式会社
代理人 (1件)： 小越 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-194614
公開番号（公開出願番号）：特開2004-035324
出願日： 2002年07月03日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】溶液の取扱い及び成膜が容易であり、均質な膜を強固に形成でき、さらに従来に比べコストを著しく低減できるチタン化合物薄膜形成用前駆体溶液及びチタン化合物薄膜の形成方法を得ることを課題とする。【解決手段】チタン酸エステルを溶解し、それ自体が揮発性であるか又は揮発性溶媒を含み、かつ水を含まない溶媒に希釈したチタン化合物薄膜形成用前駆体溶液、及びチタン酸エステルを溶解し、それ自体が揮発性であるか又は揮発性溶媒を含み、かつ水を含まない溶媒により希釈し、これを基板に塗布・乾燥又は塗布・乾燥後、空気中で加熱することを特徴とするチタン化合物薄膜の形成方法。

請求項（抜粋）：

チタン酸エステルを溶解し、それ自体が揮発性であるか又は揮発性溶媒を含み、かつ水を含まない溶媒に希釈したチタン化合物薄膜形成用前駆体溶液。

IPC (1件)：

C01G23/04

FI (1件)：

C01G23/04 C

Fターム (5件)：

4G047CA02 ,  4G047CB05 ,  4G047CB08 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光触媒およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-270270   出願人：旭硝子株式会社
• 特開昭53-146995
  
• 特開昭53-146995
  
• 特開昭58-167428