特許
J-GLOBAL ID:200903088200091019

光共振器を具えたスペクトル変調方式センサーを使用する光学測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 稔 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-275293
公開番号(公開出願番号):特開平7-027696
出願日: 1985年07月05日
公開日(公表日): 1995年01月31日
要約:
【要約】【目的】 非限定例としての圧力、温度、ガス密度及び種々の化学種などを列挙することのできる各種物理パラメータを検出して測定する装置であって、安価で安定性に富み、信頼性が高く、しかも正確な光学測定装置を提供すること。【構成】 被測定物理パラメータがセンサーの分光反射率及び/又は分光透過率の変化を引き起こし、この変化によりかかるセンサーからの出力光が被測定物理パラメータの関数としてスペクトル変調されるようなセンサーを具備する光学装置。
請求項(抜粋):
検出した物理パラメータをある値域にわたって測定する光学測定装置において、少くとも1つの波長の入力測定光源と、上記検出した物理パラメータの関数として、変化する感光物理特性を有している光共振器装置とを具備し、上記光共振器装置が、出力曲線上の少くとも1つのオペレーティングセグメント上の上記変化によって発生した対応するマイクロシフトによって上記感光物理特性の上記変化の関数として上記入力測定光をスペクトル変調することによりスペクトル変調された出力測定光を発生し、上記出力曲線が、上記光共振器装置の反射率および透過率曲線の少くとも1つを表わしており、上記入力測定光、上記光共振器装置および上記少くとも1つのオペレーティングセグメントが、(1)上記入力測定光の上記少くとも1つの波長が上記検出した物理パラメータの上記値域にわたって約1共振サイクルよりも短かい長さであり、かつ約1共振サイクルよりも短かくマイクロシフトされる上記少くとも1つのオペレーティングセグメント内に実質的に落ちるように選択され、そして(2)上記光共振器装置の上記スペクトル変調された出力測定光が、上記値域にわたって上記検出した物理パラメータに対して唯一の1対1の関係を示すように選択され、そしてさらに上記検出した物理パラメータの関数である出力測定電気信号を発生する検出装置と、上記源から上記光共振器装置に上記入力測定光を伝送し、かつ上記光共振器装置から上記検出装置へ上記スペクトル変調出力測定光を伝送する光透過装置とを具備していることを特徴とする光学測定装置。
IPC (4件):
G01N 21/27 ,  A61B 5/14 310 ,  G01K 11/12 ,  G01L 11/00
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭54-158954
  • 特開昭55-163436

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