特許

J-GLOBAL ID：200903088207718076

積層型アクチユエータの製造方法

発明者： 本田 賀久 ,  熊本 憲二 ,  石森 正樹
出願人/特許権者： 小野田セメント株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-153218
公開番号（公開出願番号）：特開平5-003348
出願日： 1991年06月25日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】この発明は、圧電セラミックスグリーンシートと内部電極とを交互に積層し、一体焼結して得る積層型圧電アクチュエータの製造方法において、大型の積層型圧電アクチュエータを製造する際に、脱脂焼成工程において、小型品と同等の脱脂および焼成時間で済むことが出来るのを特徴としている。【構成】この発明は、内部電極を印刷した圧電セラミックスシートを積層し、この積層体を一体焼結して積層型アクチュエータを作成する積層型圧電アクチュエータの製造方法において、小型の一体焼結体を作成した後に、この焼結体の上下両端面を研磨して、所要の数の焼結体を積み重ねて再度焼成して焼結体相互を接合し、これによって大型の一体焼結体を得ることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

内部電極を印刷した圧電セラミックスシートを積層し、この積層体を一体焼結して積層型アクチュエータを作成する積層型圧電アクチュエータの製造方法において、小型の一体焼結体を作成した後に、この焼結体の上下両端面を研磨して、所要の数の焼結体を積み重ねて再度焼成して焼結体相互を接合し、これによって大型の一体焼結体を得ることを特徴とする積層型アクチュエータの製造方法。