特許
J-GLOBAL ID：200903088211751266
光偏向子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-168206
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027989
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 小型で大きな振れ角を得ることができる2次元走査型光偏向子を提供する。【構成】 ミラー部11と第1バネ部12a,12bとからなる第1振動子と、この第1振動子に接続される応動部13と第2バネ部13a,13bとからなる第2振動子と、この第2振動子に接続される加振部14と第3バネ部15a〜15dからなり固定部16に支持される第3振動子とから構成し、加振部14に対し外部から第1振動子および第2振動子の共振周波数の駆動力を与えて動作させる。
請求項（抜粋）：
板状部材と第1バネ部とからなる第1振動子と、この第1振動子に結合される応動部と第2バネ部とからなる第2振動子と、この第2振動子に結合される加振部と第3バネ部とからなり固定部に支持される第3振動子とを有し、2つの直交する軸上にそれぞれ第1,第2バネ部を形成し、前記第3バネ部の加振部に外部から第1および第2振動子の共振周波数の駆動力を与えて動作させることを特徴とする光偏向子。
IPC (2件)：
G02B 26/10
, G02B 26/10 104
