特許
J-GLOBAL ID：200903088223160980
走査型露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-205975
公開番号（公開出願番号）：特開平8-051063
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：
【要約】【目的】本発明は走査型露光装置において、ステージ保持台の案内面精度によらず安定した走査露光を実現する。【構成】露光に先だつて、ステージ保持台8を投影光学系13A〜13Eに対して相対移動させ、走査中に発生するステージ保持台8の投影光学系13A〜13Eに対する相対的な姿勢変化量を予め検出する。この検出値に基づいてマスク6と感光基板7との相対的な位置関係の変化量を露光前に予め演算しておき、露光の際には、予め求めた演算結果に基づいてマスクステージ6Bと感光基板ステージとの少なくとも一方を駆動してマスク6と感光基板7との相対的な位置関係を補正する。これによりステージ保持台8の案内面精度が多少低くても安定した露光を実現することができる。
請求項（抜粋）：
マスクステージ上に載置されたマスクを照明する照明光学系と、前記マスクを透過した光束を感光基板ステージ上に載置された感光基板上に投影する投影光学系と、前記マスクステージと前記感光基板ステージとを対面させた状態で保持するステージ保持台とを有し、該ステージ保持台を前記投影光学系に対して相対移動させることにより前記マスクの全面を前記感光基板上に露光する走査型露光装置において、前記露光に先だつて、前記ステージ保持台を前記投影光学系に対して相対移動させ、該相対移動中に発生する前記ステージ保持台の前記投影光学系に対する相対的な姿勢変化量を予め検出する姿勢検出手段と、前記姿勢検出手段によつて検出された変化量に基づいて、前記マスクと前記感光基板との相対的な位置関係の変化量を露光前に予め演算して求める演算手段と、前記露光の際、前記演算手段の演算結果に基づいて前記マスクステージと前記感光基板ステージの少なくとも一方を駆動して前記マスクと前記感光基板との相対的な位置関係を補正する位置補正手段とを具えることを特徴とする走査型露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
