マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)デバイスを動作するドライバおよび方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岡部正夫 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-365798
公開番号（公開出願番号）：特開2002-236265
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)デバイスを動作するドライバおよび方法【解決手段】マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)デバイスと共に用いるドライバ、これを動作する方法、およびこのドライバおよび方法を採用するMEMSデバイスが開示される。一つの実施例においては、ドライバは、MEMSデバイスの光学要素の角度を変えるためのアクチュエーション電圧を供給するアクチュエーションサブシステムを備える。ドライバは、さらに、アクチュエーションサブシステムに結合され、光学要素とアクチュエーションサブシステムとの間にバイアス電圧を加え、これによってアクチュエーション電圧を低減するためのバイアスサブシステムを備える。

請求項（抜粋）：

マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)デバイスに用いるためのドライバであって、前記MEMSデバイスの光学要素の角度を変えるためのアクチュエーション電圧を供給するように構成されたアクチュエーションサブシステム;および前記アクチュエーションサブシステムに結合され、前記光学要素と前記アクチュエーションサブシステムとの間にバイアス電圧を加え、これによって前記アクチュエーション電圧が低減されるように構成されたバイアスサブシステムを備えることを特徴とするドライバ。

IPC (3件)：

G02B 26/08 , B81B 7/02 , H02N 13/00

FI (3件)：

G02B 26/08 E , B81B 7/02 , H02N 13/00 Z

Fターム (4件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ05

引用特許：

審査官引用 (7件)

デジタルマイクロミラーリセット方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-240757 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
空間光変調装置及び達成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-158717 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
水平解像度を改善するDMD構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-333223 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

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