特許
J-GLOBAL ID：200903088231387960
樹脂薄膜およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205937
公開番号（公開出願番号）：特開2000-098597
出願日： 1999年07月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 液体を薄膜中に封じ込めてパターニングできる樹脂薄膜およびその製造方法を提供するものである。【解決手段】 基材1上に形成された薄膜3において、フォトレジストで組成された高分子樹脂相体3aに前記フォトレジストと異なる材料3bを液滴状に分散保持させる。この構成により、樹脂中に液体の材料を封じ込め、材料の性質、機能を損なうことなく、薄膜を形成することができ、かつ薄膜をパターニングして使用することができる。
請求項（抜粋）：
基材上に形成された薄膜であって、フォトレジストで組成された高分子樹脂相に前記フォトレジストと異なる材料が液滴状に分散保持された樹脂薄膜。
IPC (4件)：
G03F 7/004 511
, G02F 1/1333
, G02F 1/1339 500
, G09F 9/37 311
G03F 7/004 511
, G02F 1/1333
, G02F 1/1339 500
, G09F 9/37 311 A
