特許

J-GLOBAL ID：200903088239023975

表面波振動素子

発明者： 永田 憲治
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173565
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021748
出願日： 1992年07月01日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】 表面波振動素子に関し、性能の向上を目的とする。【構成】 第1の基本構成は圧電体12の表面に、歯幅と歯間隔がaである一対の櫛歯状電極13,14 と、溝状の反射波防止部15を形成する。防止部15は、電極13,14 の整列端歯から歯幅aだけ離れるまたは整列端歯の外辺に接し、圧電体12の分極方向が一部分で反転する分極反転層または、圧電体12の一部分をエッチングした溝である。第2の基本構成は圧電体12の表面に、整列端歯幅がa′で他の歯幅と歯間隔がaの一対の櫛歯状電極13′, 14′と、表面波吸収層17を形成する。吸収層17は表面波吸収剤のスクリーン印刷または感光性樹脂層のパターニングにより形成する。電極13′と14′は整列端歯の幅a′を、他の歯幅aより適当に大きく形成し、整列端歯の一部を覆う吸収層17は、整列端歯の露呈幅がaとなるように構成する。

請求項（抜粋）：

整列する多数の歯部の幅(a) と歯部間隔(a) とが一定である櫛歯状の電極(13,14) を形成した圧電体(12)の表面には、該電極(13,14) の整列端歯部から該歯部間隔(a) と同一間隔または該整列端歯部の外側辺に接する溝状に、該圧電体(12)の分極を反転せしめた分極反転層(15,22) が形成されてなることを特徴とする表面波振動素子。