特許
J-GLOBAL ID：200903088239195431
超音波モニター付きメッキ装置及び膜の形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-304992
公開番号（公開出願番号）：特開2000-129498
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：
【要約】【課題】 メッキ装置において、重要課題となるメッキ液の濃度管理を超音波を用いることで、容易かつ正確にリアルタイムで実施できる方法およびメッキ装置を提供する。【解決手段】 メッキ液循環配管9の供給ラインには超音波受発信機および温度検知機8を設置している。この超音波受発信機および温度検知機8において、メッキ液の濃度をリアルタイムに測定することができる。また、濃度データは、制御部10を介して、メッキ液および添加材の補給機構5にフィードバックし、メッキ液の濃度を常に最適に保つことが可能となり、安定した成膜特性を持つメッキ装置を実現することができる。
請求項（抜粋）：
メッキ液の濃度を超音波を用いて計測しながら、膜を形成することを特徴とする膜の形成方法。
IPC (3件)：
C25D 21/14
, G01N 29/02
, G01N 29/18
C25D 21/14 Z
, G01N 29/02
, G01N 29/18
2G047AA01
, 2G047BC02
, 2G047BC15
, 2G047BC19
, 2G047EA11
, 2G047GG43
