静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：下田容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-080416
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243367
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】静電チャックの絶縁層からウェハへの不純物の拡散を抑制しつつ静電力が低下しないようにする。【構成】静電チャックは基板1上に絶縁層2を形成し、これら基板1と絶縁層2の間に電極3を形成し、この電極3をリード線4を介して直流電源5に接続し、絶縁層2の表面には保護膜6を形成し、この保護膜6の材料としてはSi3N4、SiC、SiO2等のSiを含有するセラミック材料、またはAlN、BN、C(ダイヤモンド)等の熱伝導率の高い材料等の中から絶縁層2の材料との関係において選択する。具体的には絶縁層2の体積固有抵抗値ρと保護膜6の体積固有抵抗値ρvとが、ρv/ρ≧ 10-1となるものを選定する。

請求項（抜粋）：

絶縁層内または絶縁層と基板との間に内部電極を設けるとともに絶縁層表面に保護膜を形成した静電チャックにおいて、前記絶縁層の体積固有抵抗値ρと前記保護膜の体積固有抵抗値ρvとを以下の関係になるようにしたことを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H01L 21/265 , H02N 13/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭59-057446
特開昭61-152497
特開昭62-134798

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