特許
J-GLOBAL ID：200903088241300633
圧電型振動センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-002134
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201722
出願日： 1993年01月08日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 z軸方向における検出精度を向上させる。【構成】 台座21上に膜状圧電体26および荷重体25を積層した構造を有する。圧電体26の一方の面に直交し、該圧電体26のほぼ中心を通る直線(z軸)方向の振動を検出するz軸用振動センサ24と、z軸方向に直交するx軸方向の振動を検出するx軸用振動センサ22と、z軸、x軸にそれぞれ直交するy軸方向の振動を検出するy軸用振動センサ23とを有する。z軸用振動センサ24は、z軸方向の変位を検出するz軸用圧電体26と、該z軸用圧電体26の表裏面全体にわたってそれぞれ配置された第一の電極とz軸用電極33とを有する。【効果】 圧電体に複数の分割電極を設ける場合に比べ、z軸用電極の面積を大きく形成できるから、荷重体の重心の位置が多少ずれた場合でも、クロストークを低い値に抑さえることができるから、z軸方向の検出精度を向上できる。
請求項（抜粋）：
台座上に膜状圧電体および荷重体を積層した構造を有する圧電型振動センサであって、前記圧電体の一方の面に直交し、該圧電体のほぼ中心を通る直線をz軸とし、該z軸に垂直な互いに直交する二本の直線をそれぞれx軸、y軸としたとき、前記z軸方向の振動を検出するz軸用振動センサと、前記x軸方向の振動を検出するx軸用振動センサと、前記y軸方向の振動を検出するy軸用振動センサとを有してなり、前記z軸用振動センサは、z軸方向の変位を検出するz軸用圧電体と、該z軸用圧電体の表裏面全体にわたってそれぞれ配置された電極とを有する構成にされ、前記x軸用振動センサは、x軸方向の変位を検出するx軸用圧電体を有する構成にされ、前記y軸用振動センサは、y軸方向の変位を検出するy軸用圧電体を有する構成にされ、これらz軸用圧電体とx軸用圧電体とy軸用圧電体とは、z軸方向に沿って積み重ねられていることを特徴とする圧電型振動センサ。
IPC (2件)：
G01P 15/09
, H04R 17/00 330
