ポーラスカーボン

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-155646
公開番号（公開出願番号）：特開2005-335999
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】発塵を抑制し通気性と導電性を維持できる吸着パッドに用いるのに適したポーラスカーボンを提供する。【解決手段】ポーラスカーボンは自己焼結性炭素で形成され、その気孔率が10〜50vol%である。該自己焼結性炭素の骨格表面を熱硬化性樹脂或いはガラス状カーボンで被膜させても良い。

請求項（抜粋）：

自己焼結性炭素で形成されたポーラスカーボンであって、その気孔率が10〜50vol%である、ことを特徴とする吸着パッド用ポーラスカーボン。

IPC (2件)：

C01B31/02 , H01L21/68

FI (3件)：

C01B31/02 101A , H01L21/68 P , H01L21/78 M

Fターム (32件)：

4G146AA19 , 4G146AB05 , 4G146AC01A , 4G146AC01B , 4G146AD15 , 4G146AD22 , 4G146AD26 , 4G146BA01 , 4G146BA18 , 4G146BA43 , 4G146BB05 , 4G146BB06 , 4G146BB07 , 4G146BB09 , 4G146BB10 , 4G146BC03 , 4G146BC07 , 4G146BC32B , 4G146BC33B , 4G146BC37B , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA14 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031MA27 , 5F031MA29 , 5F031MA34 , 5F031PA18 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (2件)

導電性カーボン多孔体の作製方法及びその方法で作製した導電性カーボン多孔体
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-306734 出願人：科学技術振興事業団, 株式会社ノリタケカンパニーリミテド
特開平2-188417

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