特許
J-GLOBAL ID：200903088248764252
標準試料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-060640
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273289
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 二次イオン質量分析装置の分解能の校正の精度を向上させることができ、したがって、分解能の精度を向上させることができ、さらに、イオンビーム誘起拡散評価を可能にすることができる標準試料を提供する。【構成】 基板上に、金属同位体を主成分とする物質層を複数積層させたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板上に、金属同位体を主成分とする物質層を複数積層させたことを特徴とする標準試料。
IPC (3件)：
G01N 1/00 102
, G01N 23/225
, H01J 49/02
