特許
J-GLOBAL ID：200903088249313130

光学偏向装置およびこれを用いたレーザ加工装置

発明者：
杉江 弘

杉江 弘 について

, 
高橋 悌史

高橋 悌史 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-095638
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296533
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：
【要約】【課題】 レーザ加工装置に用いられ、反射ミラーの面に垂直な方向の振動を確実に防止できる高品位な光学偏向装置を提供する。【解決手段】 入射されるレーザビームを反射する反射ミラー2と、反射ミラー2の一端を回転自在に支持するとともに、入力される位置制御信号に応じて反射ミラーを回転駆動するガルバノメータ1と、反射ミラー2の他端を回転自在に支持する回転支持機構(軸受け5)とを備える。
請求項（抜粋）：
入射されるレーザビームを反射する反射ミラーと、上記反射ミラーの一端を回転自在に支持するとともに、入力される位置制御信号に応じて上記反射ミラーを回転駆動するガルバノメータと、上記反射ミラーの他端を回転自在に支持する回転支持機構とを備えたことを特徴とする光学偏向装置。
IPC (4件)：
G02B 26/10 104 ,  B23K 26/08 ,  G02B 26/08 ,  H05K 3/00
FI (4件)：
G02B 26/10 104 Z ,  B23K 26/08 B ,  G02B 26/08 E ,  H05K 3/00 N
Fターム (10件)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ02 ,  2H045AB18 ,  2H045DA02 ,  4E068CA09 ,  4E068CB05 ,  4E068CD12 ,  4E068CE03
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM