特許
J-GLOBAL ID：200903088250793987
光ファイバー固定構造及び方法、並びに、かかる光ファイバー固定構造を備えたモジュール基板の製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-245188
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110418
出願日： 1994年10月11日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 数μm単位の高精度位置決めと同時に短時間での固定が可能な光ファイバー固定構造及び方法、さらにそのモジュール基板の製造方法を提供する。【構成】 光ファイバー2を挿入することにより自動的に位置決めして固定する光ファイバー構成構造のV溝は、大きさの異なる複数のV溝a、bから構成された櫛歯状V溝6により形成されている。櫛歯状V溝6のこのような構成によれば、異方性エッチングにより形成されるV溝が複数の領域に分割されることから、その一つのV溝斜面に結晶欠陥が在った場合でも、結晶欠陥を中心にして(111)面が移動する部分はそのV溝斜面部分に抑えられ、従って、複数のV溝の内の結晶欠陥が存在しなかった幾つかのV溝は数μmの加工精度で製作される。この高精度のV溝を用いて光ファイバーを固定することにより、光ファイバーを置いただけで光軸合わせ行われ、固定作業時間が短縮される。
請求項（抜粋）：
モジュール基板上に光ファイバーの固定用溝を形成し、該固定用溝を用いて前記光ファイバーを所定の位置に固定する光ファイバー固定構造において、前記固定用溝は、異方性エッチングにより形成されるV字状に交差する少なくとも一対の傾斜面により形成され、かつ、その交差線の延長方向に沿って複数の領域に分割されて形成された複数の溝により形成されていることを特徴とする光ファイバー固定構造。
IPC (3件)：
G02B 6/00 346
, G02B 6/30
, G02B 6/42
