特許
J-GLOBAL ID：200903088250948867
ウエハ湿式処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-179849
公開番号（公開出願番号）：特開平7-014812
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】 大径ウエハの処理を可能とする。パーティクルを少なくする。薬液コストを下げる。【構成】 各ステージで1枚ずつウエハを処理する枚葉式ウエハ処理ユニット20,30を設ける。処理ユニット20,30で使用する薬液を可能な限り薬液生成部50でつくる。薬液生成部50は過酸化水素の代わりにオゾンを使用する。
請求項（抜粋）：
各ステージで1枚ずつウエハに処理液を吹き付ける枚葉式ウエハ処理ユニットと、該枚葉式ウエハ処理ユニットで使用する各種薬液を生成するための複数のガス源を有し、各ガスを液体に混合して薬液となすと共に、複数のガス源の一つがオゾナイザーである薬液生成部とを具備することを特徴とするウエハ湿式処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
