特許

J-GLOBAL ID：200903088250993234

荷電粒子ビーム装置

発明者： 羽 持 満
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-090750
公開番号（公開出願番号）：特開2003-288856
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】 振動系(ステージ移動系)の減衰振動(残留振動)及び/若しくは外乱振動による固有振動の励起振動を速やかに減衰させる。【解決手段】 ステージ24に、ピエゾ素子31と重り33付き金属板32とから成る機械的動吸振器を取り付ける。又、ピエゾ素子31を容量分としたLCR共振回路を形成する。機械的動吸振器の固有振動周波数がステージの固有振動周波数に一致若しくは近似するように機械的動吸振器を構成する。又、LCR共振回路の共振周波数が機械的動吸振器の固有振動周波数に一致若しくは近似するようにLCR共振回路を構成する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームが照射される被照射物を支持し、ステージ移動機構により少なくとも一方向に移動可能に成されたステージが設けられた被照射物チャンバーを備えた荷電粒子ビーム装置において、ステージに動吸振器が取り付けられており、その動吸振器はピエゾ素子を備え且つ該ピエゾ素子を容量分としたLCR共振回路が形成されており、動吸振器の固有振動周波数がステージの固有振動周波数に一致若しくは近似するように動吸振器が構成され、LCR共振回路の共振周波数が動吸振器の固有振動周波数に一致若しくは近似するようにLCR共振回路が構成されている荷電粒子ビーム装置。

IPC (7件)：

H01J 37/20 ,  F16F 15/02 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (8件)：

H01J 37/20 D ,  F16F 15/02 C ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/16 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (24件)：

2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  2H097KA38 ,  2H097LA10 ,  3J048AD01 ,  3J048AD07 ,  3J048BF12 ,  3J048CB22 ,  3J048EA07 ,  5C001AA01 ,  5C001CC04 ,  5C001DD03 ,  5F031CA02 ,  5F031HA55 ,  5F031KA06 ,  5F031LA12 ,  5F031MA32 ,  5F031MA33 ,  5F031NA05 ,  5F046AA23 ,  5F056BA10 ,  5F056CB24 ,  5F056EA14