特許

J-GLOBAL ID：200903088261083000

変位傾斜測定装置

発明者： 加藤 正良
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 慎史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-034773
公開番号（公開出願番号）：特開2000-234907
出願日： 1999年02月12日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成で測定対象物の所定領域の傾斜角度と三次元位置とを併せて算出し、測定対象物の所定領域に対するより高精度な測定を可能にする。【解決手段】 第一光源部2からの第一光束L1と第二光源部3からの第二光束L2とを測定対象物Aに配設された反射部材11で反射させた反射光を第一の受光素子12と第二の受光素子13とにおいて各々受光してそれらの受光位置を検出する一方、反射部材11に対してその鉛直方向下方から出射する第三光束L3の反射光から傾斜に関する傾斜角度情報を検出し、その傾斜角度情報に基づいて測定対象物Aの傾斜角度を算出し、また、各受光素子12,13における受光位置と測定対象物Aの傾斜角度とに基づいて測定対象物Aの三次元位置を算出する。これにより、簡単な構成で測定対象物Aの所定領域の傾斜角度と三次元位置とが併せて算出されるとともに、測定対象物Aの所定領域に対するより高精度な測定が可能になる。

請求項（抜粋）：

鏡面反射性を有する測定対象物の所定領域に対して少なくとも二以上の光束を出射し、各反射光を複数の受光素子でそれぞれ受光して各反射光の受光位置を検出し、一の前記受光素子で検出した反射光の受光位置に基づいて測定対象物の所定領域の傾斜角度を算出するとともに、少なくとも一以上の他の前記受光素子において検出した反射光の受光位置と算出された前記傾斜角度とに基づいて測定対象物の所定領域の三次元位置を算出する変位傾斜測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/26

FI (2件)：

G01B 11/00 B ,  G01B 11/26 Z

Fターム (25件)：

2F065AA04 ,  2F065AA09 ,  2F065AA17 ,  2F065AA19 ,  2F065AA35 ,  2F065BB25 ,  2F065BB27 ,  2F065CC00 ,  2F065DD02 ,  2F065FF01 ,  2F065FF44 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065HH04 ,  2F065HH09 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ07 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-098618
  
• 特開昭62-218802
  
• 特開昭59-168309