走査電子顕微鏡用試料台

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-314819
公開番号（公開出願番号）：特開平11-149896
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】本発明は、試料を集束イオンビーム加工観察装置での加工と、走査電子顕微鏡での観察を多種の目的に対応でき、迅速に信頼性が高い観察分析を可能とすることを目的とする。【解決手段】本発明の試料台は試料ホールダに搭載する部位のネジ穴を複数形成することで、多種の目的に対応した加工と観察が可能となる。また、試料を固定する部位にスライド式試料固定板を設置することで、試料を容易に破損することなく、さらに迅速に固定することが可能となる。

請求項（抜粋）：

集束イオンビーム加工観察装置を用いて表面方向から加工した試料を、走査電子顕微鏡で断面方向から観察、およびX線分析を行うため、試料表面方向から任意の角度で容易に加工が可能で、同一試料台を用い、走査電子顕微鏡で任意の角度から観察できることを特徴とする走査電子顕微鏡用試料台。

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