光ディスクのスパッタリング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-076086
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273221
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】直径やセンター形状部の径が異なる複数種類の光ディスクにスパッタリングを行なうスパッタリング装置において、処理すべき光ディスクの種類を変更する際に交換すべき処理部材の交換処理を容易にすることを目的とする。【構成】被処理光ディスクを処理装置に出し入れするためのディスク出入部と被処理光ディスクに反射面を形成するためのスパッタ部との間で被処理光ディスクを移動させるための旋回アームを備える光ディスクのスパッタリング装置において、異なる径の光ディスクの処理を行なうために、大径の光ディスクを載置するホルダHLを上記旋回アームの旋回端部に設けるとともに、小径の光ディスクが載置可能でその外径が大径の光ディスクの外径とほぼ等しいアダプタDを上記ホルダHL上に固定し得るように構成した。

請求項（抜粋）：

被処理光ディスクを処理装置に出し入れするためのディスク出入部と被処理光ディスクに反射面を形成するためのスパッタ部との間で被処理光ディスクを移動させるための旋回アームを備える光ディスクのスパッタリング装置において、異なる径の光ディスクの処理を行なうために、大径の光ディスクを載置するホルダを上記旋回アームの旋回端部に設けるとともに、小径の光ディスクが載置可能でその外径が大径の光ディスクの外径とほぼ等しいアダプタを上記ホルダ上に固定し得るようにしたことを特徴とする光ディスクのスパッタリング装置。

IPC (3件)：

G11B 7/26 531 , C23C 14/34 , C23C 14/50

FI (3件)：

G11B 7/26 531 , C23C 14/34 J , C23C 14/50 A

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