特許

J-GLOBAL ID：200903088269466162

X線装置の焦点-検出器装置のX線光学透過格子

発明者： ヨアヒム バウマン ,  クリスチアン ダーフィット ,  マルチン エンゲルハルト ,  イエルク フロイデンベルガー ,  エクハルト ヘンペル ,  マルチン ホーアイゼル ,  トーマス メルテルマイヤー ,  フランツ プファイファー ,  シュテファン ポペスク ,  マンフレート シュスター
出願人/特許権者： シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-020097
公開番号（公開出願番号）：特開2007-203066
出願日： 2007年01月30日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】簡単な製造を可能にするX線光学透過格子を提供する。【解決手段】検査対象(7、P)の投影または断層撮影による位相コントラスト画像を作成するために、少なくとも1つのウェハの少なくとも1つの表面に周期的に配置される多数の格子突条部(S)および格子間隙(L)を有するX線装置(1)の焦点-検出器装置(F1、D1)のX線光学透過格子(Gx)において、X線光学透過格子(Gx)が、ビーム方向に直接前後に配置された少なくとも2つの部分格子(Gx1、Gx2)から構成されている。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

検査対象(7,P)の投影または断層撮影による位相コントラスト画像を作成するために、少なくとも1つのウェハの少なくとも1つの表面に周期的に配置された多数の格子突条部(S)および格子間隙(L)を有する、X線装置(1)の焦点-検出器装置(F1,D1)のX線光学透過格子(Gx)において、X線光学透過格子(Gx)が、ビーム方向に直接前後に配置された少なくとも2つの部分格子(Gx1,x2)から構成されていることを特徴とするX線装置の焦点-検出器装置のX線光学透過格子。

IPC (1件)：

A61B 6/03

FI (1件)：

A61B6/03 320M

Fターム (8件)：

4C093CA01 ,  4C093CA32 ,  4C093EA11 ,  4C093EA20 ,  4C093EB24 ,  4C093EB30 ,  4C093EC16 ,  4C093EC41

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 欧州特許出願公開第1447046号明細書