静圧磁気複合軸受およびスピンドル装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野田雅士 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-121967
公開番号（公開出願番号）：特開平11-013762
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】軸受のコンパクト化が図れ、また制御系の工夫により、静圧気体軸受の優れた動的安定性を損ねることなく、磁気軸受の特長である静剛性の向上を可能とすること。【解決手段】磁気軸受と、この磁気軸受の軸受ステータ12に絞り15を有する静圧気体軸受とを併設する。磁気軸受は、ロータ4の変位を測定する変位測定手段27A〜27Dを有し、その測定値に従って磁気軸受制御手段28によりフィードバック制御される。この磁気軸受制御手段28は、積分動作または比例積分動作のみで制御するものであって、所定以上の高周波に対して制御を行わないものとする。

請求項（抜粋）：

ロータの変位を測定する変位測定手段を有し、この変位測定手段の測定値に従って電磁力を発生させる磁気軸受と、静圧気体軸受とを併設することにより前記ロータを非接触支持し、前記変位測定手段の測定値に従って前記磁気軸受をフィードバック制御する磁気軸受制御手段を設け、この磁気軸受制御手段は、積分動作または比例積分動作のみで制御するものであって、所定以上の高周波に対して制御を行わないものとした静圧磁気複合軸受。

IPC (2件)：

F16C 32/00 , F16C 32/04

FI (2件)：

F16C 32/00 C , F16C 32/04 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平1-172631
特開昭60-014619
特開平3-041214

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