赤外線検出アレイおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-380068
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185496
出願日： 2001年12月13日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】熱絶縁構造部の支持角の補正が可能な赤外線検出器を含む赤外線検出アレイを提供する。【解決手段】複数の赤外線検出器が基板上にマトリックス状に配置された赤外線検出アレイにおいて、赤外線検出器が、一端が基板に固定された支持脚であって、絶縁層と配線層との積層構造を有する支持脚と、支持脚に支持された熱絶縁構造部であって、赤外線の入射側となる第1面と、読み出し光の入射側となる第2面を有する絶縁層と、絶縁層の第2面に形成された反射膜と、配線層に接続された抵抗体とを有する熱絶縁構造部とを含み、赤外線により検出温度に加熱された支持脚が可逆的に撓むことにより、反射膜に入射した読み出し光の反射方向を変える赤外線検出器からなり、配線層を介して抵抗体に通電し、検出温度より高い温度に支持脚を加熱することにより、支持脚が非可逆的に撓むようにした。

請求項（抜粋）：

複数の赤外線検出器が基板上にマトリックス状に配置された赤外線検出アレイであって、該赤外線検出器が、a)一端が基板に固定された支持脚であって、絶縁層と配線層との積層構造を有する支持脚と、b)該支持脚に支持された熱絶縁構造部であって、赤外線の入射側となる第1面と、読み出し光の入射側となる第2面を有する絶縁層と、該絶縁層の第2面に形成された反射膜と、該配線層に接続された抵抗体とを有する熱絶縁構造部とを含み、該赤外線により検出温度に加熱された該支持脚が可逆的に撓むことにより、該反射膜に入射した該読み出し光の反射方向を変える赤外線検出器からなり、該配線層を介して該抵抗体に通電し、該検出温度より高い温度に該支持脚を加熱することにより、該支持脚が非可逆的に撓むようにしたことを特徴とする赤外線検出アレイ。

IPC (6件)：

G01J 1/02 , B81B 3/00 , B81B 7/04 , B81C 1/00 , G01J 5/40 , H01L 27/14

FI (7件)：

G01J 1/02 R , G01J 1/02 C , B81B 3/00 , B81B 7/04 , B81C 1/00 , G01J 5/40 , H01L 27/14 K

Fターム (27件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065BA14 , 2G065BA34 , 2G065CA30 , 2G066BA20 , 2G066BA55 , 2G066CB03 , 4M118AA06 , 4M118AB01 , 4M118AB10 , 4M118BA05 , 4M118BA14 , 4M118CA20 , 4M118CA34 , 4M118CA35 , 4M118CB14 , 4M118EA04 , 4M118EA20 , 4M118FA06 , 4M118FB09 , 4M118FB17 , 4M118GA05 , 4M118GA08 , 4M118GA10 , 4M118HA01 , 4M118HA36

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