特許

J-GLOBAL ID：200903088273428380

ポジ型感光性組成物

発明者： 矢作 公
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-186616
公開番号（公開出願番号）：特開2004-206058
出願日： 2003年06月30日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】ポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】[1]1分子中にエポキシ基を2個以上有するエポキシ化合物と、硬化触媒または熱により該硬化触媒を生成する化合物と、スルホン酸エステル類とを含有してなることを特徴とするポジ型感光性組成物。[2]基板上に請求項1記載のポジ型感光性組成物を塗布して露光し、未露光部を熱により硬化させた後、露光部を現像することを特徴とする半導体用部材の製造方法。[3]基板上に請求項1記載のポジ型感光性組成物を塗布して露光し、未露光部を熱により硬化させた後、露光部を現像することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

1分子中にエポキシ基を2個以上有するエポキシ化合物と、硬化触媒または熱により該硬化触媒を生成する化合物と、スルホン酸エステル類とを含有してなることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L23/29 ,  H01L23/31

FI (3件)：

G03F7/004 503Z ,  G03F7/038 503 ,  H01L23/30 R

Fターム (22件)：

2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BD03 ,  2H025BD23 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CC17 ,  2H025FA08 ,  2H025FA15 ,  4M109AA01 ,  4M109BA03 ,  4M109CA05 ,  4M109EA03 ,  4M109EA15 ,  4M109EB02 ,  4M109EB04