特許
J-GLOBAL ID：200903088280689858
形状測定スタイラス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215388
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052546
出願日： 1991年08月27日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：
【要約】【目的】 片持梁に形成される突起部を常に定形の形状となるように形成することができると共に、形状測定時の調整が容易でその測定誤差が少ない形状測定スイラスを提供する。【構成】 単結晶Si基板をエッチングすることにより形成した固定部28と、単結晶Si基板をエッチングすることにより固定部28に一端が支持された片持梁29とからなる形状測定用スタイラスにおいて、固定部28を{110}面方位の単結晶Si基板により形成し、この単結晶Si基板の結晶軸異方性エッチングを行うことにより固定部端面と片持梁29とが垂直となるように形成した。
請求項（抜粋）：
単結晶Si基板をエッチングすることにより形成した固定部と、前記単結晶Si基板をエッチングすることにより前記固定部に一端が支持された片持梁とからなる形状測定用スタイラスにおいて、前記固定部を{110}面方位の単結晶Si基板により形成し、この単結晶Si基板の結晶軸異方性エッチングを行うことにより前記固定部端面と前記片持梁とが垂直となるように形成したことを特徴とする形状測定スタイラス。
IPC (2件)：
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