特許
J-GLOBAL ID：200903088283702910
照明光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-323928
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162402
出願日： 1994年12月01日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 たとえばランプの輝点移動の影響を受けて光束のエネルギ分布が変化しても所望の照度均一性を維持することのできる照明光学装置を提供すること。【構成】 本発明においては、物体上を均一に照明するための照明光学装置において、照明光を供給する光源手段と、前記光源手段からの照明光を集光して空間的に離れた位置に光源像を形成する像形成手段と、前記光源像からの照明光を集光するコレクターレンズと、前記コレクターレンズからの光束に基づいて複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータにより形成された複数の光源像からの光束を集光して前記物体上を重畳的に照明するコンデンサーレンズとを備え、前記オプティカルインテグレータの前記光源手段側の光路中には、光束のエネルギ分布を光拡散作用により均一化するための光拡散手段が設けられている。
請求項（抜粋）：
物体上を均一に照明するための照明光学装置において、照明光を供給する光源手段と、前記光源手段からの照明光を集光して空間的に離れた位置に光源像を形成する像形成手段と、前記光源像からの照明光を集光するコレクターレンズと、前記コレクターレンズからの光束に基づいて複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータにより形成された複数の光源像からの光束を集光して前記物体上を重畳的に照明するコンデンサーレンズとを備え、前記オプティカルインテグレータの前記光源手段側の光路中には、光束のエネルギ分布を光拡散作用により均一化するための光拡散手段が設けられていることを特徴とする照明光学装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 527
, H01L 21/30 515 D
