特許
J-GLOBAL ID：200903088285220785
減圧熱処理炉用開度可変弁装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-352739
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201758
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 一つの弁で排気系の開閉、強減圧制御、スローバキューム及び弱減圧制御を可能とし、設備コスト及び設備スペースの減少、制御の簡素化を図る。【構成】 減圧熱処理炉1の排気系18に設けられる開度可変弁装置20は、弁室26内に形成された弁座27を有し、この弁座27に対して着座及び離反移動調節可能に弁体28が設けられる。この弁体28と前記弁座27には弁体28の移動方向と直交する方向で対向するように周壁部28a,27aが形成され、これら周壁部28a,27a間には微調節用隙間37が設けられる。従って、一つの弁で排気系18の開閉、強減圧制御、スローバキューム及び弱減圧制御が可能となり、設備コスト及び設備スペースの減少、制御の簡素化が図れる。
請求項（抜粋）：
減圧熱処理炉の排気系に設けられる開度可変弁装置であって、弁室内に形成された弁座と、この弁座に対して着座及び離反移動調節可能に設けられた弁体と、この弁体と前記弁座に弁体の移動方向と直交する方向で対向するように形成された周壁部と、これら周壁部間に設けられた微調節用隙間とを備えたことを特徴とする減圧熱処理炉用開度可変弁装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, F16K 1/32
, H01L 21/02
