特許
J-GLOBAL ID：200903088289372806
電磁波センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-138205
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318419
出願日： 1994年05月28日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 極めて簡単な構造でありながらも、可視光、赤外線、紫外線、X線、γ線、ミリ波といった電磁波を容易に検出し、画像センシングを行うことができる電磁波センサを提供すること。【構成】 ダイオード特性を示す半導体基板2の一方の面に電磁波3に感応する機能物質4を設け、この機能物質4の上面に表面電極6を設け、この表面電極6に直流電圧を印加した状態で、半導体基板2の空乏層2aにプローブ用電磁波10を照射することにより、機能物質4に入射する電磁波3に相関した電気信号を、半導体基板2に設けたオーミック電極7から取り出すように構成した。
請求項（抜粋）：
ダイオード特性を示す半導体基板の一方の面に電磁波に感応する機能物質を設け、この機能物質の上面に表面電極を設け、この表面電極に直流電圧を印加した状態で、半導体基板の空乏層にプローブ用電磁波を照射することにより、機能物質に入射する電磁波に相関した電気信号を、半導体基板に設けたオーミック電極から取り出すように構成したことを特徴とする電磁波センサ。
IPC (5件)：
G01J 1/02
, G01R 29/08
, G01T 1/24
, H01L 31/10
, H01L 37/02
