特許
J-GLOBAL ID：200903088294251073
耐摩耗性部材
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211485
公開番号（公開出願番号）：特開平7-062540
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：
【要約】【構成】窒化珪素を主成分とする焼結体からなる基体表面に1〜20μmの厚みの硬質炭素膜を被覆してなる耐摩耗性部材において、硬質炭素膜中の基体側に隣接して、特に厚みが0.1〜5μmであり、硬質炭素膜全体の厚みの45%以下の厚みの硬質炭素と珪素あるいは珪素化合物との混合層を形成する。【効果】基体との密着性に優れるとともに、長時間の摺動に耐えることができ、優れた耐摩耗性を有する部材を提供することができる。
請求項（抜粋）：
窒化珪素を主成分とする焼結体からなる基体表面に1〜20μmの厚みの硬質炭素膜を被覆してなる耐摩耗性部材において、前記硬質炭素膜中の基体側に隣接して硬質炭素と珪素あるいは珪素化合物との混合層が存在することを特徴とする耐摩耗性部材。
IPC (7件)：
C23C 16/26
, B23P 15/28
, C04B 41/85
, C23C 16/30
, C23C 16/34
, C23C 28/04
, B23B 27/14
