特許

J-GLOBAL ID：200903088303167005

パターンの自動設計方法

発明者： 吉澤 知勇 ,  馬込 陽一
出願人/特許権者： 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345336
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166452
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 ダミーパターンを、その配列の整然性を維持したままアレイブロックとして生成することのできる自動設計方法を提供する。【解決手段】 水平および垂直方向のみの辺で構成された対称領域を、たとえばY方向のみ着目して複数の矩形ブロックに分割し、ブロックを順次処理してゆく。現在の矩形ブロックと、現在の矩形ブロックの所定の側で隣接する矩形ブロックとの、Y方向の位置関係に基づいて、現在の矩形ブロック中に生成される単位微細パターンのアレイサイズを決定する。決定されたアレイサイズに基づいて、現在の矩形ブロック中にダミーパターンのアレイブロックを生成する。アレイサイズを決定する際には、現在の矩形ブロックと、隣接する矩形ブロックとの境界上にダミーパターン列が配置され得るかどうかを判断する。

請求項（抜粋）：

第1方向およびこれに直交する第2方向の辺で構成される多角形の処理領域を、前記第2の方向にのみ着目して複数の矩形ブロックに分割するステップと、現在の矩形ブロックと、現在の矩形ブロックの前記第1方向に沿った所定の側で隣接する矩形ブロックとの、前記第2方向における位置関係に基づいて、現在の矩形ブロック中に生成される単位微細パターンのアレイサイズを決定するステップと、前記アレイサイズに基づいて、現在の矩形ブロック中に前記単位微細パターンのアレイブロックを生成するステップとを含む、パターンの自動設計方法。

IPC (3件)：

G03F 1/08 ,  G06F 17/50 ,  H01L 21/82

FI (3件)：

G03F 1/08 A ,  G06F 15/60 658 M ,  H01L 21/82 C

Fターム (10件)：

2H095BB02 ,  2H095BB31 ,  5B046AA08 ,  5B046BA06 ,  5F064DD04 ,  5F064DD07 ,  5F064DD10 ,  5F064DD14 ,  5F064DD26 ,  5F064HH10