特許
J-GLOBAL ID：200903088304674768
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-141752
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054099
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】高いS/NでAFM測定と散乱モードSNOM測定とを同時に行なえる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】試料1が載置されたスライドガラス2はマッチングオイル4を介して内部全反射プリズム3の上に配置される。試料1にはプリズム3を通してレーザー光が照射され、試料表面にエバネッセント光が発生される。試料1の上方にはカンチレバー101の自由端に支持された探針102が配置され、その上方には対物レンズ19が配置されている。対物レンズ19は探針102の頂角よりも大きい開口角を有している。ここに開口角とは対物レンズの焦点から入射瞳の直径に対して張る角度である。対物レンズ19の上方には散乱光検出鏡筒222が配置されており、これは対物レンズ19と共働して、エバネッセント光への探針102の進入により発生する散乱光を検出する散乱光検出光学系を構成する。
請求項（抜粋）：
探針を用いて試料表面の光学情報を得る走査型プローブ顕微鏡であり、自由端に探針を有するカンチレバーと、試料表面を横切って探針を走査する走査手段と、探針先端と試料表面の間の距離を制御する制御手段と、カンチレバーの自由端の変位を検出する変位検出手段と、探針と試料の間に電磁場を発生させる電磁場発生手段と、探針が電磁場に作用して発生する光を検出する光検出手段と、走査手段と変位検出手段と光検出手段からの情報を処理して試料表面に関する像を形成する情報処理手段と、情報処理手段による情報処理の結果を表示する表示手段とを備え、光検出手段は、カンチレバーを基準にして試料の反対側に配置される対物レンズを含み、対物レンズは探針の頂角よりも大きい開口角を有しており、ここに開口角とは、対物レンズの焦点から入射瞳の直径に対して張る角度を意味し、別の言い方をすれば、対物レンズに入射する光束の最大錐角を意味し、その半角の正弦が対物レンズの開口数である、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01N 37/00 A
, G01N 37/00 D
, G01N 37/00 F
, G01B 11/30 Z
